杜邦DuPont™ IntegraTec™ Modules SFP-2880超滤膜UF膜更换案例6：电子行业晶圆清洗废水SFP-2880更换（颗粒污染导致膜失效）

 

杜邦DuPont™ IntegraTec™ Modules SFP-2880超滤膜UF膜更换案例6：电子行业晶圆清洗废水SFP-2880更换（颗粒污染导致膜失效）

某半导体企业晶圆清洗废水处理系统，SFP-2880超滤膜运行16个月，出现膜通量下降35%，跨膜压差升至0.18MPa，经检测，因预处理滤芯破损，大量微小晶圆颗粒进入超滤系统，导致膜孔堵塞，膜丝污染，常规清洗无法恢复，需更换膜组件。更换要点：更换前，更换预处理滤芯，检查管路，确保无颗粒杂质进入；拆除旧膜组件，对膜架进行精密清洗，去除内壁残留颗粒；新SFP-2880超滤膜装入前，用超纯水浸泡4h，去除膜表面杂质；装入后，反洗、正洗至出水颗粒数≤10个/mL、浊度≤0.05NTU，合格后投入运行；更换后，建立预处理巡检制度，定期更换滤芯，避免颗粒污染。更换后，超滤系统运行稳定，出水水质满足晶圆清洗废水回用要求，为后续反渗透系统提供稳定进水。